至纯科技:公司湿法设备已可覆盖28纳米各工序段,并在14纳米以下已有四台设备交付,是国内目前唯一可提供14纳米以下先进制程湿法设备的国产厂商
2023-01-11 18:40:28 来源:同花顺
(资料图片)
同花顺(300033)金融研究中心1月11日讯,有投资者向至纯科技(603690)(603690)提问, 在盛美上海12月的投资者关系活动记录中,提到了与贵公司技术上的对比,着重强调了自己的超临界CO2技术与TEOB技术,贵公司作为后起之秀,希望能够逐步加大研发,早日攻克两种核心技术。
公司回答表示,您好,公司在湿法设备方面沿袭与DNS一致的日系技术路线,公司湿法设备已可覆盖28纳米各工序段,并在14纳米以下已有四台设备交付,是国内目前唯一可提供14纳米以下先进制程湿法设备的国产厂商。公司时刻关注湿法领域的先进技术并持续投入研发,希望成为技术覆盖度更广、技术深度更精深的专注于湿法领域的供应商。
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